過氧化氫低溫等離子體滅菌通過過氧化氫液體彌散變成氣體狀態(tài)后對物品進行滅菌，通過產(chǎn)生的等離子體進行第二階段滅菌等離子過程還可加快、徹底分解過氧化氫氣體在器械和包裝材料上的殘留。等離子體滅菌法的特點為作用迅速、殺菌可靠、作用溫度低、清潔而無毒性殘留。適用于不耐熱、不耐濕的診療器械的滅菌，如電子儀器、光學儀器等診療器械的滅菌，不適用于布類、紙類、水、油類、粉劑等材質(zhì)的滅菌。

等離子滅菌應(yīng)在專用的過氧化氫低溫等離子體滅菌器內(nèi)進行，一次滅菌過程包含若干個循環(huán)周期，每個循環(huán)周期包括抽真空、過氧化氫注入、擴散、等離子化、通風五個步驟。過氧化氫為強氧化劑，在使用時需注意做好防護，防止皮膚、黏膜被滅菌劑沾染。過氧化氫等離子滅菌方式對被滅菌物品的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、干燥程度等有著極高的要求，應(yīng)嚴格按照滅菌器使用要求進行滅菌，以免造成滅菌失敗。